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脈沖激光沉積樣品臺

簡要描述:脈沖激光沉積樣品臺是一種物理氣相沉積技術,用于在襯底上生長高質量的薄膜。脈沖激光沉積系統(tǒng)中的樣品臺是一個關鍵組件,用于支撐和加熱待沉積的樣品。

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  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-07-10
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詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間10萬-50萬
應用領域化工,生物產業(yè),交通,制藥,綜合

脈沖激光沉積樣品臺是一種物理氣相沉積技術,用于在襯底上生長高質量的薄膜。脈沖激光沉積樣品臺是一個關鍵組件,用于支撐和加熱待沉積的樣品。

樣品臺的主要功能是提供一個均勻且穩(wěn)定的加熱環(huán)境,以促進材料從靶材到襯底的轉移。在脈沖激光沉積過程中,高能量的激光脈沖轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子蒸發(fā),并沉積在襯底上形成薄膜。為了有效地進行這一過程,樣品臺需要能夠精確地控制溫度,以確保沉積的材料具有所需的晶體結構和性質。

此外,樣品臺還需要具備足夠的穩(wěn)定性和耐久性,以承受脈沖激光沉積過程中產生的高溫、高壓和其他條件。因此,樣品臺通常由耐高溫、耐腐蝕的材料制成,如陶瓷或金屬。

總之,脈沖 激光沉積樣品臺是脈沖激光沉積系統(tǒng)中的重要組成部分,對于確保沉積過程的穩(wěn)定性和高效性至關重要。除了基本的加熱和穩(wěn)定性要求外,脈沖激光沉積 樣品臺的設計還需要考慮以下幾個方面:

1. **溫度控制精度**:在薄膜生長過程中,溫度是一個非常重要的參數。因此,樣品臺需要具備精確的溫度控制功能,以確保在沉積過程中溫度保持穩(wěn)定,從而獲得高質量的薄膜。

2. **樣品臺的形狀和尺寸**:樣品臺的形狀和尺寸應與靶材和襯底的尺寸相匹配,以便能夠均勻地加熱靶材,并確保激光脈沖能夠充分作用在靶材表面。

3. **熱傳遞效率**:為了快速達到所需的溫度,樣品臺需要具有良好的熱傳遞性能。這通常通過在樣品臺內部加入熱電阻或熱電偶等溫度傳感器來實現,以便能夠實時監(jiān)測和控制樣品的溫度。

4. **樣品的固定和更換**:樣品臺需要提供一種可靠的方式來固定靶材,并便于在沉積過程中更換靶材。這通常通過設計特定的夾具或支架來實現,以確保靶材在沉積過程中保持固定且位置不變。

5. **光學窗口**:為了觀察和控制沉積過程,樣品臺通常配備有光學窗口。這個窗口需要具有高透光性,以便能夠清晰地觀察靶材表面的激光脈沖和沉積過程。

綜上所述,脈沖 激光沉積樣品臺的設計需要綜合考慮多個方面,包括溫度控制、形狀尺寸、熱傳遞效率、樣品固定和更換以及光學窗口等。通過合理的設計和制造,可以獲得高性能的樣品臺,從而支持脈沖激光沉積技術的高效和穩(wěn)定應用。


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